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ハイデンハインの歴史と製品開発の変遷

当社は、ウィルヘルム・ハイデンハインにより、メタルエッチング工場として1889年にベルリンで創立されました。 その工場では型板、標識、目盛、秤などを製造していました。 第二次世界大戦で戦災を受けた後、ドクター・ ヨハネス・ハイデンハイン社はウィルヘルム・ハイデンハインの息子によってトラウンロイトに設立されました。 再開後、最初に製造した製品は小売り用の目盛と秤でした。 まもなく、工作機械用の光学式位置測定システムが製品に加えられました。 1960年代前半に、これらの製品は光電走査式のリニアエンコーダおよび角度エンコーダに引き継がれていきました。 これらの製品を開発したことにより、製造業における多くの機械やプラントを初めて自動化することができました。

創業当時から、当社は高い技術力を志向してきました。 1970年、ドクター・ヨハネス・ハイデンハインは会社の継続および技術の進化を保証すべく、ある財団に出資をしました。 現在のハイデンハインが研究開発に大規模な投資をできるのは、このおかげです。

ハイデンハインの歩み

1889年

W. HEIDENHAINがメタルエッチングの会社をベルリンに設立

1923年

Dr. Johannes Heidenhain が入社

1948年

DR. JOHANNES HEIDENHAINをトラウンロイトに設立

1950年

DIADUR工程の発明: マスター目盛をコピーすることで、耐久性があり、精度の高い目盛をガラスに施す工程

1970年

非営利団体DR. JOHANNES HEIDENHAIN-STIFTUNG GmbHを設立

1980年

Dr. Johannes Heidenhain永眠

2014年

全ての工業国に営業およびサービス拠点を持つに至る

計量プロジェクト関連

1961年

光電式測定顕微鏡

1966年

ドイツ物理工学研究所(PTB)向け干渉測長器

1971年

PTB向け角度測定試験装置

1977年

PTB向け精密角度計

1989年

新技術望遠鏡(NTT)向け角度エンコーダ

1999年

巨大望遠鏡(VLT)向け角度エンコーダ

1999年

多くの国立計量機関が参加した長さ測定国際比較NANO-3向けスケール

2001年

PTB用ナノメーター干渉測長器

2003年

PTB、AIST(産業技術総合研究所)、当社間での角度測定比較

2004年

PTB 、ミツトヨ社、当社間での長さ測定比較

2004年

GRANTECAN望遠鏡(カナリア大望遠鏡)向け角度エンコーダ

2005年

PTB、当社間での角度測定比較

2007年

ALMA(アタカマ大型望遠鏡群)のヨーロッパ担当アンテナ25基向け角度エンコーダ

2013年

ダニエル・K・太陽望遠鏡(DKIST、旧名:先端技術太陽望遠鏡ATST)向け角度エンコーダ

スケール目盛の歩み

1936年

リソグラフを使用した直線タイプのガラス目盛(精度±0.015 mm)

1943年

角度測定用ディスク目盛(精度 ±3角度秒)

1952年

重さ秤用ガラス目盛が主力商品となる

1967年

微細構造を持つ立体交差格子

1985年

インクリメンタルリニアエンコーダ用絶対番地化原点

1986年

位相格子目盛

1995年

2次元エンコーダ用2軸交差型格子目盛

2002年

干渉走査式リニアエンコーダ用平面位相目盛構造

2005年

レーザアブレーション法により製造し、耐環境性が向上した目盛

2009年

半導体産業用大面積二次元格子目盛(測定範囲400 mm x 400 mm)

エンコーダの歩み: オープンタイプリニアエンコーダ

1952年

工作機械向け光学式リニアエンコーダ

1961年

LID 1 - インクリメンタルリニアエンコーダ、目盛間隔8µm、測定分解能2µm

1963年

LIC - アブソリュートリニアエンコーダ、18トラック、ピュアバイナリコード、測定分解能 5µm

1965年

工作機械の精度測定用レーザ測長器

1987年

LIP 101 - オープンタイプ干渉走査式リニアエンコーダ、測定分解能 0.02 µm

1989年

LIP 301 - インクリメンタルリニアエンコーダ、オープンタイプ、干渉走査式、測定分解能 1 nm

1992年

PP 109R - 2次元干渉走査式リニアエンコーダ

2008年

LIP 200 - 干渉走査式リニアエンコーダ、信号周期0.512µm、最大走査速度3m/s

2010年

LIC 4000 - アブソリュートリニアエンコーダ、オープンタイプ、2トラック、疑似ランダムコード、EnDat 2.2インターフェース搭載、最大測定長27m、測定分解能1nm

2012年

LIC 2100 - アブソリュートシングルトラックリニアエンコーダ

2015年

LIP 6000 - 干渉走査式リニアエンコーダ、コンパクト設計

エンコーダの歩み: シールドリニアエンコーダ

1952年

工作機械向け光学式リニアエンコーダ

1966年

LIDA 55.6 - インクリメンタルリニアエンコーダ、シールドタイプ、スチールベース

1975年

LC 500 - インクリメンタルリニアエンコーダ、ガラスタイプ、最大測定長3m、測定分解能10µm

1977年

LIDA 300インクリメンタルリニアエンコーダ、最大測定長30m

1994年

LC 181 - アブソリュートリニアエンコーダ、シールドタイプ、7トラック、EnDatインターフェース搭載、最大測定長3m、測定分解能0.1µm

1996年

LC 481 - アブソリュートリニアエンコーダ、2トラック、 PRC、EnDat、最大測定長2m

2011年

LC 200 - アブソリュートリニアエンコーダ、最大測定長28m、PRC、測定分解能10nm

2014年

LC xx5 - アブソリュートリニアエンコーダ、最大測定長4m、測定分解能1 nm

2015年

LP 100 - インクリメンタルリニアエンコーダ、最大測定長3m、測定分解能32.5 pm

エンコーダの歩み: 角度エンコーダ

1952年

光学式角度エンコーダ

1957/1961年

ROD 1 - 光電走査式角度エンコーダ、信号周期/回転40,000、目盛線本数10,000

1962年

ROD 1 - 信号周期/回転72,000

1964年

ROC 15 - アブソリュート角度エンコーダ、分解能17ビット

1975年

ROD 800 - インクリメンタル角度エンコーダ、精度±1角度秒

1986年

ROD 905 - インクリメンタル角度エンコーダ、精度±0.2角度秒

1997年

RCN 723 - アブソリュート角度エンコーダ、ステータカップリング内蔵、中空シャフト、シングルターン23ビット、EnDatインターフェース搭載、精度±2角度秒

2000年

ERP 880 - 干渉走査式角度エンコーダ、信号周期/回転180,000、精度±0.2角度秒

2004年

RCN 727 - アブソリュート角度エンコーダ、中空シャフト、最大径100 mm

2009年

ROP 8080 - 角度エンコーダ、干渉走査式ウェハー検査用途、高精度軸受搭載、信号周期/回転360,000

2011年

ERP 1080 - 小型角度エンコーダ、干渉走査式、シングルチップ設計

エンコーダの歩み: ロータリエンコーダ

1957/1961年

ROD 1 - 光学式インクリメンタルロータリエンコーダ、目盛線本数10,000

1964年

ROD 2 / ROD 4シリーズ - 汎用型インクリメンタルロータリエンコーダ

1981年

ROD 426 - 産業用インクリメンタルロータリエンコーダ

1987年

ROC 221 S - アブソリュートロータリエンコーダ、シングルターン12ビット、マルチターン9ビット

1992年

ERN 1300 - インクリメンタルロータリエンコーダ、サーボドライブ用、最高使用温度120 °C

1993年

ECN 1300(シングルターン)およびEQN 1300(マルチターン) - アブソリュートロータリエンコーダ

2000年

EQN 1100 - 小型アブソリュートロータリエンコーダ、マルチターン、プリント基板直接実装技術採用

2000年

ECN 100 - アブソリュートロータリエンコーダ、シングルターン、中空シャフト、最大径50mm

2004年

ECI 1100(シングルターン)およびEQI 1100(マルチターン) - 小型アブソリュートロータリエンコーダ、インダクティブ走査方式

2007年

SIL2/PL dまで対応、EnDat 2.2インターフェース対応の"機能安全"アブソリュートロータリエンコーダ

2012年

ERN 1387 - 高精度インクリメンタル走査
(革新的な専用ASICによって精度向上)

2014年

SIL3/PL eまで対応、EnDat 2.2インターフェースおよび緩み対策対応のアブソリュートロータリエンコーダ