会社の歴史 と製品の変遷
当社は、ウィルヘルム・ハイデンハインにより、目盛などを製造するメタルエッチング工場として1889年にベルリンで創立されました。 第二次世界大戦での戦災を受けた後、ドクター・ヨハネス・ハイデンハイン社は1948年にウィルヘルム・ハイデンハインの息子によりバイエルン州トラウンロイトに設立されました。 再開後、最初に作った製品は目盛と小売用の秤でした。 まもなく、工作機械用の光学式位置測定システムが製品に加えられました。 1960年代前半には、これらは光電走査式のリニアエンコーダおよび角度エンコーダに引き継がれていきました。 これらの開発により、製造業における多くの機械やプラントを最初に自動化することを可能にしました。
創業当時から、当社は高い技術力を志向してきました。 1970年にドクター・ヨハネス・ハイデンハインが会社の継続および技術の進化を保証すべく、ある財団に出資しました。これにより現在のハイデンハインは研究開発への大規模な投資を可能にしています。
ハイデンハインの歩み
1889 | W. HEIDENHAIN(創始者の父)がメタルエッチングの会社をベルリンに設立 |
1923 | Dr. Johannes Heidenhain が入社 |
1928 | METALLUR工程の発明 |
1948 | DR. JOHANNES HEIDENHAINをバイエルン州トラウンロイトに設立 |
1950 | DIADUR工程の発明 |
1970 | 非営利団体ハイデンハイン基金の設立 |
1980 | Dr. Johannes Heidenhain永眠 |
2012 | 全ての工業国に営業およびサービス拠点を持つに至る |
計量プロジェクト関連
1961 | 光電式測定顕微鏡 |
1966 | ドイツ物理工学研究所(PTB)向け干渉測長器 |
1971 | PTB向け角度測定試験装置 |
1977 | PTB向け精密角度計 |
1989 | 新技術望遠鏡(NTT)向け角度エンコーダ |
1999 | 巨大望遠鏡(VLT)向け角度エンコーダ |
1999 | 多くの国立計量機関が参加した長さ測定国際比較NANO-3向けスケール |
2001 | PTB用ナノメーター干渉測長器 |
2003 | PTB、AIST (産業技術総合研究所)、当社間での角度測定比較 |
2004 | PTB 、ミツトヨ社、当社間での長さ測定比較 |
2005 | PTB、当社間での角度測定比較 |
スケール目盛の歩み
1936 | リソグラフを使用した直線タイプのガラス目盛(精度±0.015 mm) |
1943 | 角度測定用ディスク目盛(精度 ±3角度秒) |
1952 | 重さ秤用ガラス目盛が主力商品となる |
1967 | 微細構造を持つ立体交差格子 |
1985 | インクリメンタルリニアエンコーダ用絶対番地化原点 |
1986 | 位相格子目盛 |
1995 | 2次元エンコーダ用2軸交差型格子目盛 |
2002 | 干渉走査式リニアエンコーダ用平面位相目盛構造 |
2005 | レーザアブレーション法により製造した耐環境性が向上した目盛 |
2009 | 半導体産業用 大面積二次元格子目盛（測定範囲400 mm x 400 mm） |
リニアエンコーダの歩み
1952 | 工作機械向け光学式リニアエンコーダ |
1961 | LID 1 - インクリメンタルリニアエンコーダ、目盛間隔8µm、測定分解能2µm |
1963 | LIC - アブソリュートリニアエンコーダ、18トラック、ピュアバイナリコード、測定分解能 5µm |
1965 | 工作機械の精度測定用レーザ測長器 |
1966/1968 | LIDA 55.6 - インクリメンタルリニアエンコーダ、シールドタイプ、スチールベース |
1987 | LS 101 - インクリメンタルリニアエンコーダ、シールドタイプ、測定分解能0.1 µm |
1987 | LIP 101 - インクリメンタルリニアエンコーダ、オープンタイプ、干渉走査式、測定分解能 0.02 µm |
1989 | LIP 301 - インクリメンタルリニアエンコーダ、オープンタイプ、干渉走査式、測定分解能 1 nm |
1994 | LC 181 - アブソリュートリニアエンコーダ、シールドタイプ、7トラック、EnDatインターフェース搭載、測定長3m、測定分解能0.1µm |
1996 | LC 481 - アブソリュートリニアエンコーダ、シールドタイプ、2トラック、疑似ランダムコード、EnDatインターフェース搭載、測定長2m、測定分解能0.1µm |
2005 | LC 183 - アブソリュートリニアエンコーダ、シールドタイプ、疑似ランダムコード、EnDat2.2インターフェース搭載、測定長4m、測定分解能0.005µm |
2008 | LIP 200 - 干渉走査式リニアエンコーダ、信号周期0.512µm、最大走査速度3m/s |
2010 | LIC 4000 - アブソリュートリニアエンコーダ、オープンタイプ、2トラック、疑似ランダムコード、EnDat 2.2インターフェース搭載、最大測定長27m、測定分解能1nm |
2011 | LC 200 - アブソリュートリニアエンコーダ、シールドタイプ、最大測定長28m、疑似ランダムコード、測定分解能10nm |
角度エンコーダの歩み
1952 | 光学式角度エンコーダ |
1957/1961 | ROD 1 - 光電走査式角度エンコーダ、信号周期/回転40,000 、目盛線本数10,000 |
1962 | ROD 1 - 信号周期/回転72,000 |
1964 | ROC 15 - アブソリュート角度エンコーダ、分解能17ビット |
1975 | ROD 800 - インクリメンタル角度エンコーダ、精度±1角度秒 |
1986 | ROD 905 - インクリメンタル角度エンコーダ、精度±0.2角度秒 |
1997 | RCN 723 - アブソリュート角度エンコーダ、ステータカップリング内蔵、中空シャフト、シングルターン23ビット、EnDatインターフェース搭載、精度±2角度秒 |
2000 | ERP 880 - 干渉走査式角度エンコーダ、信号周期/回転180,000、精度±0.2角度秒 |
2004 | RCN 727 - アブソリュート角度エンコーダ、中空シャフト、最大径100 mm |
2009 | ROP 8080 - 角度エンコーダ、干渉走査式ウェハー検査用途、高精度軸受搭載、信号周期/回転360,000 |
2011 | ERP 1080 - 小型角度エンコーダ、干渉走査式、シングルチップ設計 |
ロータリエンコーダの歩み
1957/1961 | ROD 1 - 光学式インクリメンタルロータリエンコーダ、目盛線本数10,000 |
1964 | ROD 2 / ROD 4シリーズ - 汎用型インクリメンタルロータリエンコーダ |
1981 | ROD 426 - 産業用インクリメンタルロータリエンコーダ |
1987 | ROC 221 S - アブソリュートロータリエンコーダ、シングルターン12ビット、マルチターン9ビット |
1992 | ERN 1300 - インクリメンタルロータリエンコーダ、サーボドライブ用、最高使用温度120 °C |
1993 | ECN 1300（シングルターン） およびEQN 1300(マルチターン） - アブソリュートロータリエンコーダ |
1997 | ERM 100 - 磁気式組込型ロータリエンコーダ |
2000 | EQN 1100 - 小型アブソリュートロータリエンコーダ、マルチターン、プリント基板直接実装技術採用 |
2000 | ECN 100 - アブソリュートロータリエンコーダ、シングルターン、中空シャフト、最大径50mm |
2004 | ECN 1100（シングルターン） およびEQN 1100(マルチターン） - 小型アブソリュートロータリエンコーダ、インダクティブ走査方式 |
2007 | “機能安全” SIL2/PL d 対応およびEnDat 2.2インターフェース搭載のアブソリュートロータリエンコーダ |