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HEIDENHAIN-CERTO CT 6001
熱安定性設計により温度範囲19 °C ~ 21 °Cにおいて最高の精度と繰り返し性

精度0.1 µm と繰り返し性 0.03 µm を誇る長さゲージHEIDENHAIN-CERTOを使用すれば、測定範囲60 mmにおいて最も確実な計測結果を得ることができます。 精度表は直線性誤差補正用の値を記載しています。 データ処理ユニットND 287と組み合わせて、精度+/-0.05 µmまで 実現します。

推奨の測定スタンドCS 200を使用することによって、熱的に安定した測定ループを構築できます。 測定スタンドとHEIDENHAIN-CERTOの機構は、どちらもINVAR(熱膨張係数 1ppm/K)で構成され、信号周期 2 µm のスケール目盛はZERODUR(熱膨張係数 0.1 ppm/K)で製造されているため、通常避けることのできない小さな温度変化が発生しても精度に影響を及ぼしません。 完成品寸法の検査ステーションのような高精度計測に対し、オプションのアナログモジュールを使用し、標準温度20 °Cとワークや測定系全体との間に生じた温度差を補正することができます。

この精度範囲内では接触式の測定結果が、長さゲージのゼロ設定時に平坦度の良し悪しによる影響を受けることがあります。 これに対し測定スタンドCS 200は、測定表面の平坦度0.6 µm という特別な要求を満たしています。 さらに平坦度を求める場合、吸引セラミックプレートを使用することができます。 このアクセサリは平坦度0.1µm に対応しています。

電動モータ駆動タイプを選択すれば測定範囲全体において一定の測定圧を3段階の大きさで得ることができます。 そして作業者から長さゲージに伝わる熱を最小にできます。

主な特徴

熱安定性設計

INVARで構成された機構部、 ZERODUR製のスケール本体

精度

± 0.1 µm(測定範囲60 mm ) 
± 0.05 µm(精度表を用いて直線性誤差補正実施時)

繰り返し性

0.05 µm (測定範囲60 mm)

本アプリケーションで使用している製品

HEIDENHAIN-CERTO CT 6001

329352-01

長さゲージCT 6001用コントロールボックスSG 60 M

317436-02

長さゲージCT 6001用測定スタンドCS 200

221310-01

推奨アクセサリ

セラミックプレート

223100-01

ダイアフラム・コンプレッサー

754220-01

ND 287 (1軸用)

636287-01

ND 287用イーサネットモジュール

654019-01

温度補正用アナログモジュール

654018-01

フットスイッチ (割当設定が必要)

681041-xx