高精度計測を支える 精密目盛

ハイデンハインのエンコーダの心臓部は通常0.25μmから10μmまでのライン幅で作成された格子で作られた精密目盛となります。 これらの精密な目盛はハイデンハインによって発明された製法によって作られています。(たとえば DIADUR やAURODURといった) そしてエンコーダの性能と精度にとってこの精密目盛は非常に重要な要素となります。 これらの目盛板は非常に小さい誤差に抑えられたラインとスペースによって構成され そのラインは非常に高精度な端部を持っております。これらの目盛は機械的、化学的な影響のみならず振動、衝撃に対しても耐性を維持しております。さらに熱変位に関しても十分に研究されております。

回折干渉用目盛格子ある特別な製法によって三次元の目盛構造を可能にしました。その格子幅は数ミクロンから0.25μmまで可能です。
SUPRADURSUPRADUR工程によって作成された目盛構造は三次元的な構造をもつ回折干渉用目盛格子に似ています。しかし、平面構造となっているため汚れに対して非常に強い構造です。
MAGNODURミクロンレベルの薄い磁性層によって精密に構成された磁気目盛です。
DIADURDIADURはガラスもしくはガラスセラミックの基板上にきわめて薄いクロム層を形成させ作られおります。その目盛精度はミクロンレベル、製品によってはサブミクロンレベルで作られております。
AURODURAURODUR 目盛格子は反射率の高い金によって構成されています。 AURODUR目盛格子は通常 スチールテープ上に作成されます。
METALLUR金の反射層を持った特別な光学的構造にて METALLUR目盛はほぼ平面構造を取っています。つまり汚れに対して比較的耐性のある目盛構成となります。