エレクトロニクス産業

エレクトロニクス産業の急速な発展は、 前工程におけるダイの小型化、 後工程におけるチップの複雑化、 PCBでの部品の高密度化など、 部品の継続的な小型化によってもたらされます。    そのために、 測定技術やモーション制御技術の継続的な精度向上が求められています。 
HEIDENHAINのエンコーダを搭載したETELのプラットフォーム、 さらに ETELのポジションおよびモーションコントローラが、 これらのアプリケーションに優れた精度と性能を提供します。 ハイエンドソリューションとして、 NUMERIK JENAと RSFのエンコーダも取り揃えています。 

半導体および電子機器製造のための主要製品

位置決め精度 の向上はチップや電子機器アセンブリの高性能化につながり、

さらに高い位置決め精度が実現します。

半導体製造前工程向けソリューション

ダイ製造の最適化

HEIDENHAINのオープンタイプリニアエンコーダは、 半導体製造の前工程で要求される動的かつ高精度の機械で使用できるように最適化されており、 高い長期安定性と簡単な取付けを実現しています。 

これらのアプリケーションでは、ベアリングを内蔵しない光学式組込み型角度エンコーダERPシリーズを、 大口径中空シャフトおよび最高回転速度20 000 rpmのシャフトに使用することができます。 低質量、低慣性モーメントにより、 始動トルクは不要です。 これは 半導体製造装置に大きな利点となります。 

ETELのモーションシステムはX軸単体から7軸システムソリューションまで対応し、 半導体製造の幅広いアプリケーションをカバーしています。モータとエレクトロニクスに関するETELの専門知識とHEIDENHAINの制御に関する専門知識が垂直統合され、 2方向の繰り返し精度が ±250 nmという優れた結果を得ることができました。    

後工程アプリケーション向け測定およびモーション制御技術

後工程アプリケーション向けリニアエンコーダ

半導体製造の 後工程で使用される機械や自動化システムは、 さまざまな要求に直面します。  HEIDENHAINは、NUMERIK JENAおよびRSFと共に、これらの要求に対応するリニアエンコーダを用意しています。超高精度から超小型サイズまで、 お客様のアプリケーションに合わせた構成が可能です。

後工程アプリケーションでの高精度角度測定

半導体製造のダイボンディングやパッケージング工程で 回転軸の位置決めを正しく行うためには、 高精度ロータリエンコーダが欠かせません。  HEIDENHAINは 光学式組込み型角度エンコーダERPおよびERO、 または角度エンコーダモジュールMRPの 2つのソリューションを提供します。 角度エンコーダモジュールは角度エンコーダと高精度ベアリングを最適に調整し組み合わせた製品です。 

ハイエンドアプリケーション向けメカトロニクスモーションシステム

ETELは 幅広いモーションシステムを用意しています。 スタンドアロン製品から 高度に統合されたプラットフォームまで、 ETELのソリューションは 半導体アプリケーションの 特殊な要求を満たすため、 機械メーカーは 専門分野に集中して取り組むことができます。 ETELの 高性能メカトロニクスモーション ソリューション を見る

世界各地で開催される展示会SEMICONにてご紹介する当社のイノベーションは マイクロサイトをご覧ください。 

ハイライトを見る

電子機器アセンブリおよびPCB製造向けエンコーダ

オープンタイプリニアエンコーダ
動的特性の高い工程向け

電子機器製造におけるPCB基板実装では、工程の速度が最も重要です。HEIDENHAINのオープンタイプリニアエンコーダLICおよびLIDAは高精度および高速制御により、その要求を満たすことができます。NUMERIK JENAおよびRSFのエンコーダはカスタマイズされたソリューションに最適です。

回転軸の高精度位置決め

光学式組込み型角度エンコーダEROおよびERAは、電子機器アセンブリやPCB製造装置の大口径回転軸向けソリューションです。角度エンコーダモジュールMRPは、 角度エンコーダと高精度ベアリングを最適に調整し組み合わせた製品で、特に取扱いや取付けが簡単です。角度エンコーダモジュールはエアベアリングの代わりとなり、取付け後の調整は不要です。また、電気モータ用に特別な設計をしたRSFの角度エンコーダMCR 15シリーズもあります。

ETELでダイナミックな動作を実現

XYテーブル、ポータルシステム、ロータリテーブルなど、ETELはあらゆる機械設計に対してダイレクトドライブモータ技術による完全なモーションシステムソリューションを提供します。これらの高精度かつダイナミックなシステムにより、機械メーカーは直線2自由度のシンプルなシステムから、空間直線運動や回転軸と組み合わせたシステムまで、希望する動作を可能にすることができます。ETELのすべてのソリューションは空間の利用を最適化し、可能な限りコンパクトな機械設計を実現します。

LEDやディスプレイの先端技術に対応するエンコーダ

正確な位置決めによる鮮明なディスプレイの生産

スマートフォンの小型タッチパネルからワイド型UHDTVまで、超薄型画面の高解像度や鮮やかな色彩は、LED技術の製造装置の位置決め精度によって実現しています。エレクトロニクス産業の他の分野と同様に、HEIDENHAIN、NUMERIK JENA、RSFのオープンタイプリニアエンコーダはこの位置決め精度を提供します。

回転軸の最高精度を実現

光学式組込み型角度エンコーダERO/ERP/ECA /ERAシリーズは、LEDおよびディスプレイ製造における回転軸の精度、動的性能、信頼性の要件を全て満たしています。つまりアプリケーションに最適な特性を持つエンコーダを必ず見つけることができます。

エンコーダの製品寿命まで 高精度を維持:
信号処理ASIC HSP 1.0

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