最大6自由度測定とETELのモーションシステムにより、200 nmより優れた位置決め精度を実現
エレクトロニクス産業の急速な発展は、前工程における配線の微細化、後工程におけるチップの複雑化、PCB上の部品実装の高密度化など部品の微細化、高集積化によってもたらされます。そのために、測定技術やモーションコントロール技術の継続的な精度向上が求められています。HEIDENHAINのエンコーダを搭載したETELのプラットフォーム、さらにETELのポジションおよびモーションコントローラが、これらのアプリケーションに要求される精度と性能を提供します。ハイエンドソリューションとして、NUMERIK JENAとRSFのエンコーダも取り揃えています。