エレクトロニクス産業

エレクトロニクス産業の急速な発展は、前工程における配線の微細化、後工程におけるチップの複雑化、PCB上の部品実装の高密度化など、部品の微細化、高集積化によってもたらされます。そのために、測定技術やモーションコントロール技術の継続的な精度向上が求められています。

HEIDENHAINのエンコーダを搭載したETELのプラットフォーム、さらにETELのポジションおよびモーションコントローラが、これらのアプリケーションに要求される精度と性能を提供します。ハイエンドソリューションとして、NUMERIK JENAとRSFのエンコーダも取り揃えています。

半導体および電子機器製造向けソリューション

位置決め精度 の向上により、チップや電子部品実装の高性能化が実現します。

半導体製造 前工程向けソリューション

ダイ製造に最適

HEIDENHAINのオープンタイプリニアエンコーダは、半導体製造の前工程が要求する動的かつ高精度の製造装置に使用できるように最適化され、長期間にわたる安定性の高さと取付けの簡単さを実現しています。

前工程アプリケーションでは、ベアリングを内蔵しない光学式組込み型角度エンコーダERPシリーズを、大口径で最高速度毎分20 000回転の中空シャフトに使用することができます。低質量で低慣性モーメントであるため、余分な始動トルクはありません。これは半導体製造装置に大きなメリットとなります。

ETELのモーションシステムは、単軸から7軸のシステムまで対応し、半導体製造分野の幅広いアプリケーションをカバーしています。ETELのモータとエレクトロニクスに関する専門知識とHEIDENHAINの制御に関する専門知識を垂直統合することで、双方向の繰り返し精度±250 nmという優れた性能を実現しています。

半導体製造後工程アプリケーション向け測定およびモーションコントロール技術

半導体製造後工程の様々なアプリケーションに対応するリニアエンコーダ

半導体製造の後工程で使用される機械や自動化システムは、様々な要求に直面しています。HEIDENHAIN、NUMERIK JENA、RSFは、これらの要求に対応するリニアエンコーダを用意しています。超高精度から超小型サイズまで、アプリケーションに合わせて構成することが可能です。

半導体製造後工程アプリケーションでの高精度角度測定

半導体製造のダイボンディングやパッケージング工程で回転軸の位置決めを正しく行うためには、高精度角度エンコーダが必要不可欠です。HEIDENHAINは、光学式組込み型角度エンコーダERPおよびERO、または角度エンコーダモジュールMRPの2つのソリューションを用意しています。角度エンコーダモジュールは角度エンコーダと高精度ベアリングを最適に調整し組み合わせた製品です。

ハイエンドアプリケーション向けモーションシステム

ETELは半導体アプリケーションの多様な要求を満たすスタンドアロン製品から高度に統合されたプラットフォームまで幅広いモーションシステムを用意しています。これらを活用することで装置メーカはモーションコントロールを意識することなく、プロセスに集中することができます。

世界各地で開催される展示会SEMICONにてご紹介する当社のイノベーティブなソリューションはマイクロサイトをご覧ください。

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電子部品実装およびPCB製造向けエンコーダ

高い動特性が要求されるプロセス向け
オープンタイプリニアエンコーダ

電子機器製造におけるPCB基板実装では、プロセスの速度が最も重要です。HEIDENHAINのオープンタイプリニアエンコーダLICおよびLIDAは高速で高精度測定が可能なため、プロセス速度に対する要求に応えることができます。NUMERIK JENAおよびRSFのエンコーダはカスタマイズソリューションに最適です。

回転軸の高精度位置決め

光学式組込み型角度エンコーダEROおよびERAは、電子部品実装機やプリント基板製造装置の大口径回転軸向けソリューションです。角度エンコーダモジュールMRPは、角度エンコーダと高精度ベアリングを最適に調整し組み合わせた製品で、特に取扱いや取付けが簡単です。角度エンコーダモジュールは、エアベアリングからの置き換えも可能で、取付け後の調整にかかる工数も不要です。また、電動モータ用に特別な設計をしたRSFの角度エンコーダMCR 15シリーズも用意しています。

ETELでダイナミックな動作を実現

ETELは、XYテーブル、ガントリーシステム、ロータリテーブルなど、あらゆる機械に対してダイレクトドライブモータ技術によるモーションシステムソリューションを提供します。これらの高精度で動特性の高いシステムにより、機械メーカーは直線2自由度の基本システムから直線軸と回転軸を組み合わせた多自由度システムまで、希望するモーションシステムを導入することができます。ETELのすべてのソリューションは、空間を最適に利用し、可能な限りコンパクトな機械設計を実現します。

LEDやディスプレイの先端技術に対応するエンコーダ

高精度位置決めによる鮮明なディスプレイ

スマートフォンの小型タッチパネルからワイド型UHDTVまで、超薄型画面の高解像度や鮮やかな色彩は、LED製造装置の位置決め精度のおかげです。エレクトロニクス産業の他の分野と同様に、HEIDENHAIN、NUMERIK JENA、RSFのオープンタイプリニアエンコーダは、製造装置の高精度位置決めを実現します。

回転軸の最高精度を実現

光学式組込み型角度エンコーダERO、ERP、ECA、ERAシリーズは、LEDおよびディスプレイ製造装置の回転軸が要求する、精度、動的性能、信頼性の全てに対応しています。したがって、この中からアプリケーションに最適なエンコーダを選び出すことができます。

エンコーダの製品寿命まで 高精度を維持:
信号処理ASIC HSP 1.0

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