高真空および超高真空アプリケーション用 LIP/LIF/LICシリーズ

型式基準精度スケール本体と取付け内挿精度測定長
精度等級挟ピッチ精度
LIP 481V
LIP 481U
± 0,5 μm
± 1 μm

≤ ± 0,175 μm/ 5 mm

Zerodurガラスセラミックまたは ガラススケールをクランプ留め

± 7 nm70 mm  420 mm
LIF 471V
LIF 481V
± 3 μm≤ ± 0,225 μm/ 5 mm ± 12 nm70 mm  1640 mm
LIC 4113 V
LIC 4193 V
±1 µm (Robaxガラスセラ ミックのみ)、±3 µm、±5 µm≤ ±0,275 μm/10 mmMETALLUR目盛格子付ガラス セラミックまたはガラス ± 20 nm240 mm  3040 mm