LIC 4100 Vシリーズ

真空用アブソリュートリニアエンコーダ

  • 高速制御の直線軸用
  • 超高分解能(<1 nm)
  • インターフェース:EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川
  • プリント基板、接着剤、コーティング剤を真空対応にしアウトガス量を低減
  • 通気孔により排気時間を短縮
  • 高ベーキング温度が可能な耐熱性
  • 非強磁性材料を採用することで高いプロセス信頼性を実現
  • 包装前のベーキングにより優れた清浄度を実現

高真空用途向け

真空技術は、エレクトロニクス産業、薄膜形成技術、材料研究、バイオテクノロジー産業、医療技術および高度な実験装置など多くの最先端研究、生産プロセスで重要な役割を果たします。

高速対応

リニアエンコーダLICは、高精度と高速制御が特長です。測定分解能1 nmと最高走査速度600 m/minが可能です。アブソリュート位置測定で、優れた耐環境性により高い信頼性があります。

製品バリエーション

オープンタイプリニアエンコーダはスケール本体走査ヘッドで構成されています。2つの構成部品はリストからお選びください。サポートをご希望の方は、弊社営業部に電話またはメールでお問い合わせいただくか、お問い合わせフォームをご利用ください。

目盛本体

走査ヘッド