真空技術は、エレクトロニクス産業、薄膜形成技術、材料研究、バイオテクノロジー産業、医療技術および高度な実験装置など多くの最先端研究、生産プロセスで重要な役割を果たします。
リニアエンコーダLICは、高精度と高速制御が特長です。測定分解能1 nmと最高走査速度600 m/minが可能です。アブソリュート位置測定で、優れた耐環境性により高い信頼性があります。
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オープンタイプリニアエンコーダはスケール本体と走査ヘッドで構成されています。2つの構成部品はリストからお選びください。サポートをご希望の方は、弊社営業部に電話またはメールでお問い合わせいただくか、お問い合わせフォームをご利用ください。